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2013.07.04

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弊社へのアクセス・会社概要
会社外観

株式会社平井 システム事業部システム事業部技術研究所
〒208-0023
東京都武蔵村山市伊奈平2-80-1

お客様の「思い」を「実現」します。気体装置装置は株式会社平井 システム事業部にお任せ下さい。

HIRAIの気体制御装置 気化制御用装置、液体材料気化装置の開発・設計・製造

卓越した部品調達力

当社は、多数の仕入先と長年にわたる信頼関係を築いてきました。
その結果、非常に強い部品調達力を持つに至り、大規模な装置も当社だけで組み立てることが可能です。
また、短納期生産についても随時対応しています。
その部品調達力は大手メーカー様にも評価され、多数の実績と高い信頼を得ています。

お客様のニーズに合わせた設計・製造

当社の購買力・技術力により、単品から量産品まで安定した供給を可能としており、OEMでの製作も可能です。
製品は基本的に全てクリーンルーム(クラス1000及びクラス10000)環境で製造されており、高品質をお約束いたします。

豊富な電気・温度・圧力・流体制御の経験に基づき、設計から製造、改造、メンテナンスまですべての工程を一括で受託でき、お客様の管理工数を大きく削減することが可能です。
製造後も製品の保守および修理まで全てご依頼いただけます。

確かな流体部品選定、構造設計、制御技術でお客様のご希望にお応えいたします。

  • お客様のニーズに合わせた設計・製造イメージ
  • お客様のニーズに合わせた設計・製造イメージ

ガス制御装置

ガス制御装置イメージ
  • 拡散、CVD、エッチャー等の半導体製造装置用のガス供給装置
  • 光ファイバ、合成石英製造装置などの液体材料を気化による原料ガス
    供給装置
  • 液体材料の供給としてはベーキング方式、バブリング方式装置の実績多数
  • バブリング方式では濃度計の組み合わせによる原料ガスの精密制御の
    実績あり
  • 固体材料の気化(昇華)供給装置

流体計測装置

  • 流体計測装置イメージ01
  • 流体計測装置イメージ02

当社の流量計測装置は、JCSS認定事業者である技術研究所と仕様検討された高精度・高品質な計測装置です。
お客様のニーズに合わせて、さまざまな計測装置が製造可能です。

ノズル式流量計測装置
当社製品である流量標準器MRを搭載した10ccから100Lの流量校正装置です。流量標準器MRはJCSS校正証明書が付いています。
標準流量発生器
お客様の流量計を校正するための装置です。当社研究所でJCSS校正されたマスフローコントローラを搭載しています。
フロースタンダード
マスフローメータを使用した流量校正器です。外部にパソコンを接続することで自動計測ができます。
温度、圧力、流量のサンプリングなどお客様のご希望により各種仕様対応が可能です。

設備

  • リークディテクター 5台
  • パーティクルカウンター 1台
  • プロッター 2台
  • CADシステム 7台
  • マイクロスコープ 1台
  • マイクロハイトゲージ 1台
  • 気体制御装置に関するお問い合わせ
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