- サービス概要
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2013.07.04
ホームページを公開しました。
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株式会社平井 システム事業部システム事業部技術研究所
〒208-0023
東京都武蔵村山市伊奈平２－８０－１
お客様の「思い」を「実現」します。気体流量校正は株式会社平井 システム事業部にお任せ下さい。
HIRAIの気体流量校正 MRシリーズのご紹介
MRシリーズは、気体用流量計の校正用に開発された、高精度な音速ノズル式質量流量計です。
窒素、乾燥空気、水素、ヘリウムなど、実ガスで校正された、国際MRA対応のJCSS校正証明書が発行されます。従って、国家標準までのトレーサビリティが正しく保証されます。
ご不明な点は、お気軽にお尋ね下さい。
「MRシリーズ」のセンサユニット（MRS）は、被試験流量計の条件に対応して、２種類の運転圧力（仕様）があります。
MRS 「LOW PRESSURE」
- ■MRS 「LOW PRESSURE」 仕様 （対象ガスが窒素ガスの場合）
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Model MRS101 MRS102 MRS103 MRS104 最大入力圧力 350kPa （絶対圧） 周囲温度 23±5℃ 不確かさ 0.3%程度（読み値） 再現性 0.1%以下（読み値） 運転条件 Pu ― ― ― → MRS ― ― ― → Pd
Pu:20 〜 200kPa、Pd/Pu≦0.3継ぎ手 1/4"VCR オス 1/2"VCR オス 供給電源 AC85 〜 264V、47 〜 440Hz - ■MRS 「LOW PRESSURE」 標準バリエーション （窒素ガス用）
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Model フルスケール
（0℃、1atm換算）測定流量範囲※
（0℃、1atm換算）MRS一次側の運転圧力 MRS101 100mL/min 10mL/min 〜 100mL/min 約20 〜 200kPa-abs. 200mL/min 20mL/min 〜 200mL/min MRS102 500mL/min 50mL/min 〜 500mL/min 1L/min 0.1L/min 〜 1L/min 2L/min 0.2L/min 〜 2L/min MRS103 5L/min 0.5L/min 〜 5L/min 10L/min 1L/min 〜 10L/min 20L/min 2L/min 〜 20L/min MRS104 50L/min 5L/min 〜 50L/min 100L/min 10L/min 〜 100L/min ※ 測定流量範囲は、MRSの二次側が真空ポンプなどを用いて十分減圧している場合です。
真空ポンプの能力などにより減圧できない場合、範囲が狭まる場合があります。 -
バリエーションは、以下の変更も可能です。 （詳細仕様・納期等は弊社までお問い合わせ下さい）
- ガス種：乾燥空気、ヘリウム、水素、メタンなど
- フルスケール：上表に当てはまらない流量範囲（下限はF.S.の約10％です）
- 流量単位：「L/h」、「m3/h」など
- 流量換算：「20℃,1atm」換算など
MRS 「HIGH PRESSURE」
- ■MRS 「HIGH PRESSURE」 仕様 （対象ガスが窒素ガスの場合）
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Model MRS102 MRS103 MRS104 最大入力圧力 700kPa（絶対圧） 周囲温度 23±5℃ 不確かさ 0.3%程度（読み値） 再現性 0.1%以下（読み値） 運転条件 Pu ― ― ― → MRS ― ― ― → Pd
Pu:20 〜 200kPa、Pd/Pu≦0.3継ぎ手 1/4"VCR オス 1/2"VCR オス 供給電源 AC85 〜 264V、47 〜 440Hz - ■MRS 「HIGH PRESSURE」 標準バリエーション （窒素ガス用）
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Model フルスケール
（0℃、1atm換算）測定流量範囲※
（0℃、1atm換算）MRS一次側の運転圧力 MRS102 500mL/min 250mL/min 〜 500mL/min 約300 〜 700kPa-abs 1L/min 0.5L/min 〜 1L/min 2L/min 1L/min 〜 2L/min MRS103 5L/min 2.5L/min 〜 5L/min 10L/min 5L/min 〜 10L/min 20L/min 10L/min 〜 20L/min MRS104 50L/min 25L/min 〜 50L/min 100L/min 50L/min 〜 100L/min ※ 測定流量範囲は、MRSの二次側が大気圧近傍の場合です。
被試験流量による圧損などで圧力が変動（上昇）した場合、範囲が狭まる場合があります。 -
バリエーションは、以下の変更も可能です。 （詳細仕様・納期等は弊社までお問い合わせ下さい）
- ガス種：乾燥空気、ヘリウム、水素、メタンなど
- フルスケール：上表に当てはまらない流量範囲（下限はF.S.の約50％です）
- 流量単位：「L/h」、「m3/h」など
- 流量換算：「20℃,1atm」換算など
株式会社平井 システム事業部は、お客様のご要望に合わせ、一貫した対応を行っております。
配管・ガス装置・精密加工品・気体流量校正についてお困りの際は、まずご相談ください。
当社担当がお客様の「思い」の「実現」いたします。
