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2013.07.04

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株式会社平井 システム事業部システム事業部技術研究所
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東京都武蔵村山市伊奈平2-80-1

お客様の「思い」を「実現」します。気体流量校正は株式会社平井 システム事業部にお任せ下さい。

HIRAIの気体流量校正 MRシリーズのご紹介

音速ノズル式気体流量校正器 MRシリーズ

MRシリーズイメージ

MRシリーズは、気体用流量計の校正用に開発された、高精度な音速ノズル式質量流量計です。
窒素、乾燥空気、水素、ヘリウムなど、実ガスで校正された、国際MRA対応のJCSS校正証明書が発行されます。従って、国家標準までのトレーサビリティが正しく保証されます。

ご不明な点は、お気軽にお尋ね下さい。

校正機器に関するお問い合わせ

「MRシリーズ」のセンサユニット(MRS)は、被試験流量計の条件に対応して、2種類の運転圧力(仕様)があります。

MRS 「LOW PRESSURE」

■MRS 「LOW PRESSURE」 仕様 (対象ガスが窒素ガスの場合)
Model MRS101 MRS102 MRS103 MRS104
最大入力圧力 350kPa (絶対圧)
周囲温度 23±5℃
不確かさ 0.3%程度(読み値)
再現性 0.1%以下(読み値)
運転条件

Pu ― ― ― → MRS ― ― ― → Pd
Pu:20 〜 200kPa、Pd/Pu≦0.3

継ぎ手 1/4"VCR オス 1/2"VCR オス
供給電源 AC85 〜 264V、47 〜 440Hz
■MRS 「LOW PRESSURE」 標準バリエーション (窒素ガス用)
Model フルスケール
(0℃、1atm換算)
測定流量範囲※
(0℃、1atm換算)
MRS一次側の運転圧力
MRS101 100mL/min 10mL/min 〜 100mL/min 約20 〜 200kPa-abs.
200mL/min 20mL/min 〜 200mL/min
MRS102 500mL/min 50mL/min 〜 500mL/min
1L/min 0.1L/min 〜 1L/min
2L/min 0.2L/min 〜 2L/min
MRS103 5L/min 0.5L/min 〜 5L/min
10L/min 1L/min 〜 10L/min
20L/min 2L/min 〜 20L/min
MRS104 50L/min 5L/min 〜 50L/min
100L/min 10L/min 〜 100L/min

※ 測定流量範囲は、MRSの二次側が真空ポンプなどを用いて十分減圧している場合です。
真空ポンプの能力などにより減圧できない場合、範囲が狭まる場合があります。

バリエーションは、以下の変更も可能です。 (詳細仕様・納期等は弊社までお問い合わせ下さい)
  1. ガス種:乾燥空気、ヘリウム、水素、メタンなど
  2. フルスケール:上表に当てはまらない流量範囲(下限はF.S.の約10%です)
  3. 流量単位:「L/h」、「m3/h」など
  4. 流量換算:「20℃,1atm」換算など

MRS 「HIGH PRESSURE」

■MRS 「HIGH PRESSURE」 仕様 (対象ガスが窒素ガスの場合)
Model MRS102 MRS103 MRS104
最大入力圧力 700kPa(絶対圧)
周囲温度 23±5℃
不確かさ 0.3%程度(読み値)
再現性 0.1%以下(読み値)
運転条件

Pu ― ― ― → MRS ― ― ― → Pd
Pu:20 〜 200kPa、Pd/Pu≦0.3

継ぎ手 1/4"VCR オス 1/2"VCR オス
供給電源 AC85 〜 264V、47 〜 440Hz
■MRS 「HIGH PRESSURE」 標準バリエーション (窒素ガス用)
Model フルスケール
(0℃、1atm換算)
測定流量範囲※
(0℃、1atm換算)
MRS一次側の運転圧力
MRS102 500mL/min 250mL/min 〜 500mL/min 約300 〜 700kPa-abs
1L/min 0.5L/min 〜 1L/min
2L/min 1L/min 〜 2L/min
MRS103 5L/min 2.5L/min 〜 5L/min
10L/min 5L/min 〜 10L/min
20L/min 10L/min 〜 20L/min
MRS104 50L/min 25L/min 〜 50L/min
100L/min 50L/min 〜 100L/min

※ 測定流量範囲は、MRSの二次側が大気圧近傍の場合です。
被試験流量による圧損などで圧力が変動(上昇)した場合、範囲が狭まる場合があります。

バリエーションは、以下の変更も可能です。 (詳細仕様・納期等は弊社までお問い合わせ下さい)
  1. ガス種:乾燥空気、ヘリウム、水素、メタンなど
  2. フルスケール:上表に当てはまらない流量範囲(下限はF.S.の約50%です)
  3. 流量単位:「L/h」、「m3/h」など
  4. 流量換算:「20℃,1atm」換算など

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